二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258556 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一种蚀刻器/asher,在单个平台中提供原子层蚀刻/灰化功能。它提供了生产高级电路和高密度封装组件的灵活性,例如晶圆级封装,如翻转芯片、3D-IC和高级2.5D集成。2300 Flex 45利用基于化学气相沉积（CVD）的蚀刻/灰分技术,在原子水平上提供精确的蚀刻/灰分。该工艺还能够显着改善电介质和金属的蚀刻/灰化。LAM RESEARCH 2300 Flex 45具有低温处理参数，消除了基板热损坏的风险。这是由于设备能够精确控制反应室内的温度。此外，2300 Flex 45采用独特的双波长激光系统，允许前所未有的过程灵活性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45支持多种晶圆尺寸,最大可达300 mm,包括能够即时在晶圆类型之间切换。该单元还具有对工艺条件的高级监控功能，允许控制关键工艺参数，以实现一致的产品质量。2300 Flex 45具有非常低的压室，允许更高的表面迁移率和更快的反应物扩散，从而导致更均匀的蚀刻/灰分化学。这进一步提高了吞吐量和质量能力。机器还具有一系列可选组件,例如RTC工具、高级远程监视功能和在线/离线切片资产。最后,LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一种高性能的蚀刻器/灰化器,在原子尺度上提供精密蚀刻/灰分,低温处理。其独特的设计特点提供了前所未有的灵活性和改进的产品质量,从而提高了吞吐量。此模型非常适合各种先进的电路和封装应用,并为精细结构的蚀刻/粉刷提供了可靠、经济高效的解决方桉。