二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9261420 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一种蚀刻器或asher设备,旨在提供卓越的金属蚀刻和灰化性能。它有一个高性能的检流计为基础的扫描系统，使精确的光束传递到晶圆表面。该机组配备了双波长激光，在193 nm时产生45 mJ脉冲能量，在248 nm时产生20 mJ脉冲能量，通过高能脉冲提供高度选择性的蚀刻/灰分，同时利用非常短的曝光时间。2300 Flex 45包括先进的Edge Detection和Blanking功能,使机器只能将激光聚焦在基板的边缘。其动态扫描速度控制确保蚀刻/灰分速度保持恒定，同时确保最佳蚀刻/灰分结果。它还配备了增强的气体输送工具，以精确的流量和注入对象的时间输送广泛的蚀刻/灰分气体，如氯、氟和氧。此外,LAM RESEARCH 2300 Flex 45还结合了自动光束定心和光束指向功能,以进一步确保快速自动化。它具有快速的晶片加载和卸载机制,可通过最新的RESEARCH功能轻松升级。此外,它的操作配置工具允许用户控制蚀刻/灰烬工艺参数,如气流、光束功率、曝光时间和边缘检测,而无需调整组件的单独设置。2300 Flex 45适用于研究和生产应用,提供卓越的蚀刻/灰烬性能。
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