二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9227341
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Oxide etcher, 12"
Process: Etch
Material / Chemical: OX/Si
Operating system: Windows
SMIF / FOUP
Safety standard: SEMI S2-0706
(3) BROOKS Load ports
BROOKS Reliance ATR Loader arm
Transfer module: BROOKS MagnaTran Transfer arm (Robot)
EDWARD STP-IXA3306C Pump
(3) MKS RF Generators
Chamber
Gas box
Gases:
Process gas 1: CHF3
Process gas 2: NF3
Process gas 3: O2
Process gas 4: CF4
Process gas 5: CH3F
Process gas 6: C4F8
Process gas 7: N2
EFEM
VTM & Exhaust cover
PM2
AC Rack
RF Cart
Gas box
GIB
(3) Load ports
Monitor rack
Light curtain
Gas line
APCU Box
Parts box
Cable & gateway box
RPDB
Does not include hard disk
Power: 208 V
2013 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一款针对大批量生产需求而设计的高级蚀刻器/asher。它能够在各种基材上提供卓越的质量和精密的蚀刻和灰化工艺。2300 Flex EX采用真空密封、耐化学的腔室，全自动，简化操作，提高工艺稳定性。这种闭环设备为具有双重污染控制功能的反应性和有毒物质提供了一个干净、安全的蒸发室。内置了一个综合环境监测系统，以加强过程安全。大腔室允许大的基材尺寸，最多可容纳12 "x 12" x6"不锈钢或石英基材以及6"石英晶片。为了实现有效的均匀性、覆盖面和蚀刻能力，LAM RESEARCH 2300 Flex EX能够进行最多6步和12种气体的蚀刻工艺。该装置还配备了两种高性能气源的选择，一种是涡轮分子泵机，另一种是旋转背衬泵和冷冻泵的组合。此外,2300 Flex EX还配备了高级控制工具和完全可编程的工艺室,具有广泛的工艺和蚀刻配置。它还具有实时温度和压力监控资产,可更快、准确地获取数据,以及一系列内置诊断和自检功能,以便于操作和故障排除。使用最新的硬件和软件,LAM RESEARCH 2300 Flex EX以经济实惠的成本提供了多功能性和可靠性,使其成为多种基材和工艺应用的完美蚀刻和灰化解决方桉。2300 Flex EX通过简化的操作和面向安全的设计,提供了可靠且高性能的生产解决方桉。
还没有评论