二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270658 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一款高性能的独立蚀刻器/asher工具，用于高密度等离子体处理需求。它是为处理先进半导体器件制造关键层的蚀刻和灰化而设计的。2300 Flex EX具有直观的开放式平台用户界面,可轻松访问流程和配方管理系统,最多存储30种配方。该机还具有优异的工艺均匀性、极低的污染速率和优异的基板均匀性。LAM RESEARCH 2300 Flex EX利用多种工程过程控制技术，确保出色的蚀刻性能。其中包括用于高效蚀刻的高级等离子体源控制、用于实时过程监控的Auto-FID（高级基础接口诊断）和用于闭环处理的过程控制模块（PCM）以确保蚀刻均匀性。2300 Flex EX还具有基于Windows的操作员控制台,提供直观的图形用户界面,便于安装和监控。LAM RESEARCH 2300 Flex EX能够处理直径达200 mm的基板，并使用远程等离子体源（RPS）或直接激发源（DES）进行蚀刻。该机的设计采用加热气体管线和双晶圆盒快门跟踪技术，提供了一个照明工艺室和出色的工艺稳定性。2300 Flex EX还提供了一个可选的远程负载锁定设计,用于集成的基板装卸。LAM RESEARCH 2300 Flex EX配备了一个集成的原位供气系统，提供多达8种气体输送到工艺中，并配有集成的背面加热系统，以确保晶圆的背面温度均匀。该机还具有原位清洁功能，用于后蚀刻清洗，以消除加工室内的颗粒和残留物。最后,2300 Flex EX提供了许多先进的现场诊断功能,如等离子体成像,用于全面的工艺优化和腔室维护。这些特点结合先进的腔室和工艺设计，使LAM RESEARCH 2300 Flex EX成为满足先进等离子体加工需求的绝佳工具。