二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270660 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一种单晶片蚀刻和灰化设备，为各种蚀刻和灰化气体提供快速蚀刻和灰化速度。该系统提供了先进的特征提取（FE）技术,以确保获得最高质量的蚀刻和灰分结果。FE会自动调整每个晶片的工艺参数,以确保一致的结果并最大化吞吐量。LAM 2300 Flex EX还具有直观的用户界面,允许轻松设置蚀刻和灰分配方,并使用户能够快速准确地修改流程参数。该单位的平台提供了广泛的蚀刻和灰分容量，包括湿蚀刻、干蚀刻、预钝化蚀刻、深蚀刻和角浮雕蚀刻。LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX对多种多层蚀刻工艺有效。它可以处理薄至0.5微米的金属，复杂的间隙形状，以及钻孔和电化学蚀刻孔。先进的氧化和夹紧技术可以更好地控制灰化过程。板载温度监视器和集成的灰度诊断有助于优化过程性能。机器的维护功能包括自动预防性维护（APM）例程、板载诊断、实时参数监控以及支持软件更新的工具访问。LAM 2300 Flex EX允许快速准确地输送气体,其先进的安全功能确保用户安全和符合法规标准。这种蚀刻器和asher资产有助于满足对大批量生产和经济高效的蚀刻和灰烬性能不断增长的需求。