二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270870 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一种精密蚀刻器/Asher,其设计目的是提供精确度和速度,以便对精密复杂的结构进行蚀刻和灰化。这一设备的特点是有一个大的加工室，可以从室温加热到500 °C，允许各种半导体和MEMS材料的灰化。活性O2、N2和PLOT气体以及涡轮泵送技术为室内提供真空环境，以实现最佳蚀刻和灰化性能。该系统具有机械臂和积极的晶圆处理平台。这与先进的软件和机器人技术相结合，为操作员提供了编程和运行单元的最大灵活性和能力。该机器支持使用可选的专用盒式磁带自动加载和卸载基板,从而实现透晶片蚀刻或灰化以及高效的分割平面过程运行。LAM 2300 Flex EX采用高精度晶圆对准工具设计,在处理晶圆时具有更高的精度。该资产还具有YFS （YieldFocus软件）-一种自动优化算法,可根据操作员设定的特定标准优化蚀刻和灰化条件。此外，它还带有一个实时晶圆位置和度量跟踪模型，用于精确和精确的晶圆图样。该设备还包括高级流程控制和数据记录功能,用于运行中和运行后的流程诊断。可以精确调整O2、N2、PLOT气体以创建稳定的工艺环境。此外，LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX提供了一系列工艺计量选项，如ECD（电含量沉积）和XRF（X射线荧光）。最后,2300 Flex EX是一种高效、精确的蚀刻器/Asher,旨在满足半导体和MEMS制造过程中最严格的要求。该系统采用实时计量和过程控制，保证了高产量和低缺陷，同时提供了最大的灵活性、准确性和速度。