二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #293604470 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex Asher/Etcher是一款先进的化学蚀刻/灰化设备，提供更高的可靠性和改进的加工性能。该系统能够处理各种晶片和基板，同时提供出色的工艺控制和精度。2300 Flex极其用户友好，适合广泛的应用。该单元包括一个蚀刻室和一个铰接式引擎盖，便于进入整个加工室。LAM RESEARCH 2300 Flex提供出色的温度控制,温度控制精度在1摄氏度以内。该机还有一个内置的进料工具，提供一个装卸晶片的平台，以及大量的化学进料控制的分配阀。此外,2300 Flex还具有多种高级资产功能,可提高流程性能。它具有物料参数确定（MPD）特征,用于识别关键物料特性,以加强过程控制.该模型还有一个自动化的过程控制器，控制所有蚀刻和灰度时间和温度，以确保一致和可重复的结果。Asher/Etcher还利用先进的气体输送设备，可将气体和废气直接输送到反应室。这进一步提高了工艺稳定性、晶圆均匀性和整体工艺效率。该系统还有多种过滤/分离和密封系统，有助于保护操作员并保持高工艺质量。LAM RESEARCH 2300 Flex的其他功能包括一个最先进的晶圆处理单元，它可以容纳最大6英寸大小的基板。该机还具有自动卡盘温度，以确保均匀和可重复的结果，并自动调谐搅拌以提高过程的可重复性。总体而言,2300 Flex Asher/Etcher是一款功能强大、灵活且用户友好的工具,能够处理各种基板和应用程序。它是研究和生产环境的绝佳选择,提供卓越的性能和可靠性。
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