二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9062178 待售
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ID: 9062178
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Dry etcher, 12"
Non-SMIF
GEM
Wafer OF type: notch at 6 o'clock
TM Robot: Brooks Mag7
EFEM Robot: Brooks (white)
PM: 3-Ch
TMP: (3) Alcatel ATM 1600
Generator: (3) APEX1513/RFDS
Gas Box: Digital gas box
Loadport
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex是专门为半导体制造和研究而设计的多功能电磁等离子体蚀刻器/灰烬。具有进行蚀刻、钝化、氧化物剥离和金属蚀刻的能力。设备由紧凑可扩展的基座单元组成，配有高频电源、物料处理系统、工艺室和真空泵。高频电源可最大限度地提高工艺参数的准确性和可重复性,即使在广泛的电压、电流和压力范围内运行也是如此。物料处理单元确保物料的准确、可重复的装卸、转运。这台机器可能由一个机器人、一个或几个用于将工艺室与环境隔离的负载锁或一个旋转的滚筒进料工具组成,具体取决于用户的要求。加工室是进行蚀刻和灰化过程的地方。腔室内部与提供受控、超高真空环境处理的高频电源和真空泵相连。该腔室设计为具有出色的光学透明壁和非常低的排气，使资产能够保持敏感蚀刻和灰化过程所需的高真空和低内部压力。2300 Flex可以配置各种气体和化学成分,以便灵活处理许多材料,包括金属、陶瓷、氧化物和聚合物。该模型还可用于光刻胶的加工固化和晶片的变薄。LAM RESEARCH 2300 Flex是一款用户友好的模块化设备,专为批量和在线生产应用而设计。它提供了可靠性、高工艺控制精度,以及多种功能,使其成为蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。
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