二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asher是一个广泛应用的先进等离子体蚀刻和等离子体清洗平台，设计用于高效、准确的过程控制。它能够执行多室序列配方，并在可靠可重复的过程中应用均匀蚀刻或清洁。该设备采用先进的等离子体技术，对多种材料进行精密的控制沉积、蚀刻、清洗。它非常适合半导体、MEMS、电子和光电行业的广泛应用。该系统采用5轴机械输送单元，有三个模块-流程模块、存储模块和闸阀模块-以提供高性能。每个模块都提供独特的流程优势和功能。工艺模块提供了广泛的工艺气体选择，如反应性离子和蚀刻化学，使用户能够设置包括高温在内的不同蚀刻条件，以及射频和直流功率水平。存储模块允许动态加载和卸载基板,以便在密封环境模块或清洁室环境中进行处理或存储。最后,闸阀模块允许快速隔离和气体管线切换的重迭过程.2300 Flex配备了用户友好的多级自动化机器，允许用户定义配方和控制过程参数，从而有效加快和优化吞吐量。它还配备了先进的监测和诊断工具，提供流程可见性和实时反馈，以调整和校正参数，提高流程稳定性和可靠性。LAM RESEARCH 2300 Flex是一个可靠的流程工具,它可以提供精确、可重复的性能以及大量的流程控制功能。通过采用先进的多室序列设计，它支持将各种蚀刻和清洁应用集成到一个工具中。其强大的体系结构具有机械传输和自动化系统,使用户能够快速轻松地设置过程参数。它提供可靠、可重复的性能,同时保持成本节约和更好的正常运行时间。2300 Flex是一款可靠高效的蚀刻器/asher,可满足多个市场的需求。