二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157500 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex是一种蚀刻器/asher设备，设计用于在半导体晶片上精确蚀刻和粉刷复数模式。它是一个高度自动化的系统，与等离子体蚀刻、离子束铣削和化学蚀刻等多种技术兼容。该单元采用集成过程控制、自动舞台运动和配方驱动的机器操作，以确保晶圆的精确对准和蚀刻/灰分的均匀性。2300 Flex提供高通量、低变异性，非常适合半导体晶圆的批量生产。该机采用多室工艺室，可独立操作不同的工艺步骤。它还能够同时抵抗涂层和灰化。这允许对复杂的光掩码和特征配置进行高效处理,从而可实现最小的蚀刻偏差和改进的均匀性。该工具还提供高分辨率成像、动态O2清除清洁和自适应过程控制（APC）,可提供精确的蚀刻控制。这项技术确保了工艺的准确性和可重复性，同时避免了晶圆的损坏。此外,LAM RESEARCH 2300 Flex还具有实时诊断功能,可监控蚀刻过程和检测任何异常,以及一系列腔室配置和温度选项。该资产提供了最大的正常运行时间和机器可用性,旨在简化维护并实现蚀刻过程的快速转换。2300 Flex预配置了一些模块,这些模块可作为特定的蚀刻、粉碎器或功能,如抗剥离或离子束铣削。这些模块允许用户自定义模型以适应不同流程的需求。总体而言，LAM RESEARCH 2300 Flex是一种先进的蚀刻器/asher设备，提供复杂晶圆图样的精确蚀刻和灰化。它利用一系列先进的工艺控制和成像技术来确保蚀刻/灰分的均匀性,同时提供高效的工艺转换。该系统可靠可靠,旨在确保高通量批量生产环境的最大正常运行时间和可用性。