二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9244818 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex是一款为精密蚀刻加工而设计的蚀刻/asher设备。该系统旨在为先进的微电子器件和薄膜产品提供均匀的蚀刻深度、长宽比和边缘地形。2300 Flex提供高级功能,例如对蚀刻工艺的高分辨率控制、蚀刻工艺的自动对齐以及自适应蚀刻校正。这些特性使得该单元非常适合涉及精确蚀刻轮廓的过程,例如MEM蚀刻。该机器还具有独特的多源配置，允许根据工艺要求在不同气体之间切换。这允许扩展各种蚀刻食谱,以满足特定的客户需求。LAM RESEARCH 2300 Flex通过提供多种腔室几何形状提供了精确控制蚀刻过程的灵活性。其中包括圆形、矩形、模块和自定义形状。此外，该工具还可配备高级传感器、控制器和驱动组件，以严格控制蚀刻工艺参数。2300 Flex可以配置各种工艺组件,从而允许各种蚀刻工艺。这些可以包括反应性离子蚀刻（RIE）、反应性离子束蚀刻（RIBE）、低压化学气相沉积（LPCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、溅射蚀刻、快速热处理（RTP）和干蚀刻。LAM RESEARCH 2300 Flex还包括一系列等离子体源选项，如电容耦合等离子体（CCP）、感应耦合等离子体（ICP）、直流（DC）电源，允许增强过程控制和特定过程要求。总体而言,2300 Flex是精确蚀刻应用程序的理想资产,具有高分辨率蚀刻配置文件和快速吞吐量的功能。它还能够进行各种蚀刻过程,从而为自定义需求提供最大的灵活性。