二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9244863 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex是为生产集成电路（IC）晶片而设计的高度複杂、大型的蚀刻器/asher设备。这种多波长蚀刻/灰分系统能够处理多种材料，包括硅、石英和金属。2300 Flex集成了单室设计，不需要换室。此功能允许LAM RESEARCH 2300 Flex提供更高的产量,因为在蚀刻过程中不需要在腔室之间进行材料转移。该单元由多波长源、ICP波导和计算机控制单元组成，以提供最大程度的过程灵活性。该机配有先进的离子束源，可产生高能光敏溅射、反应性蚀刻/灰分和中性蚀刻/灰分。此功能使2300 Flex非常适合生产性能要求苛刻的IC。LAM RESEARCH 2300 Flex还包括一个精密激光级，可以在蚀刻和/或灰化过程中提供精确的特征对准。该工具配备了具有用户定义参数的高级计算机控制器，可提供高度的流程灵活性。此外,2300 Flex还支持自动化的负载锁定资产和可疏散的钟罩,以改进流程性能和周期优化。这使晶片喷嘴能够监控和对准,而无需手动交换晶片托架。LAM RESEARCH 2300 Flex结合了先进的高能光阻溅射、反应性蚀刻和中性灰度选件,使其成为生产性能要求苛刻的尖端IC的理想选择。由于其单室设计和自动锁载模型，它能够提高生产率。此外，它还通过计算机控制器提供了高度的过程灵活性，并通过其精确的激光级提供了精确的特征对准能力。这些功能使2300 Flex成为满足不断增长的高性能IC要求的完美蚀刻/灰烬解决方桉。
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