二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series #9407036 待售
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo E系列是一款台式机晶圆蚀刻器/asher，旨在保证晶圆蚀刻和灰化技术的过程重复性和准确性。这台机器能够在单个晶片上以300 WSPM的吞吐量实现晶片的蚀刻和灰化技术,精度为0.05 mm。它是半导体器件制造、生物传感器和MEMS生产以及研发应用的理想选择。2300 Kiyo E系列具有多腔炮塔处理室，提供多层次的环境控制和接口兼容性。它配备了高度敏感的保形加热设备，使晶片在其整个表面上均匀加热。这保证了可重复和精确的结果。此外，由于改进的保形加热而产生的高沉积率提供了最大的工艺效率，同时减少了浪费。LAM RESEARCH 2300 Kiyo E系列还采用双动双回端效应器机制，控制晶圆的处理，并将其精确放置在合适的位置进行蚀刻和灰化。这是使用高动态液压系统完成的,该系统提供准确的放置并保持产品完整性。末端效应器机构也兼容范围广泛的晶圆尺寸，从50mm到200mm。蚀刻器/asher还具有智能多点控制单元,可精确控制蚀刻和灰化流程。这台机器还使机器能够自动调整参数，以增强过程的重复性和有效性。此外,它采用干净的设计体系结构进行设计,可确保最大程度的过程稳定性并减少刀具维护工作量。最后，2300 Kiyo E系列提供了保证操作员安全的高级安全功能，如紧急停止按钮和安全窗帘。这样可以确保操作机器时的操作安全。
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