二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX #9390843 待售
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ID: 9390843
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Etcher, 12"
Process: Plasma
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2009 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX是一种蚀刻器(又称asher),能够在广泛的基板上产生高精度的特征。它配有一个集成的加工室和负载锁,可以将薄膜稳定、可重复地沉积到微观和纳米结构的表面上。2300 Kiyo EX设备设计具有双光束光学和红外成像功能,可在加工过程中分析基板表面上薄膜蚀刻速率的均匀性。该系统能够进行高速蚀刻,层厚降至纳米,表面粗糙度降至纳米。它具有集成的过程气体输送和流量控制单元,用于经济高效的蚀刻过程控制。LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX也提供多种选项来自订性能,例如双舞台和单舞台製程程式,以及单机和网路模型。此外,2300 KiyoEX还提供可微调的蚀刻速率和超声波清洗,以实现自动化和可靠性。而且,它还提供了延长的枪支使用寿命和较低的维护成本。该机非常适合MEMS、光刻和微电子封装等应用。它旨在为一系列金属和其他基材提供精确和可重复的蚀刻能力。此外,LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX还配备了用户友好的图形界面,便于操作。其稳健的设计使其适合全天候运行,从而为工业设置提供最大价值。
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