二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293609176 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是一款先进的蚀刻/asher设备，专为高通量、精密蚀刻各种半导体材料而设计。2300 Kiyo MCX具有坚固的双隔间设计,最多有两个加工室和一个转移室。此高级系统可方便地访问所有工艺参数,从而可以精确控制沉积/蚀刻操作。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX还包括一个精密的、实时的监控单元，使其能够自动调整参数以确保最佳性能。2300 Kiyo MCX配备了先进的蚀刻/ashing功能，允许用户产生高吞吐量的高品质蚀刻结果。该机包括带有双脉冲发生器的3D蚀刻/灰烬工具和开放式Trench Chamber设计，为用户处理材料提供了更大的灵活性。另外，LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX也可用于高级材料沉积，如原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）。2300 Kiyo MCX允许在-25°C至+80°C的温度下加工直径可达300 mm的基材。该资产还具有压力线关闭、快速清除周期和低漂移模型等特点,有助于确保精确的处理结果。此外,LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX还配备了自动清洁设备和自动腔室打开/关闭系统,这有助于减少停机时间和提高生产速度。2300 Kiyo MCX 蚀刻器/asher单元提供高效、精确的蚀刻工艺,具有卓越的吞吐量,允许用户即使在极端条件下也能实现工艺精度。该机还具有高级功能，如实时监控、快速清除周期、低漂移系统和高吞吐量，帮助用户在短时间内产生高质量的蚀刻结果和高质量的材料。此外,该工具允许用户轻松访问流程参数,从而可以轻松相应地调整设置。