二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293636765 待售
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已售出
ID: 293636765
优质的: 2012
Metal etcher
Missing parts:
Qty / Description
(3) / Load ports
(1) / ATM Robot
(1) / Aligner
(1) / EPX180N Pump
(1) / Terminal server
(1) / UI Computer
(1) / 24 V DC Power supply
(1) / ATM Robot controller
(1) / UPS
(1) / TM Solenoid bank
(1) / Scara arm
(1) / VTM Robot
(1) / Super slot board
(4) / Chamber rocker assemblies
(2) / Airlock rocker assemblies
(12) / STEC MFCs
(4) / TCP Matches
(4) / TCP Coil assemblies
(4) / ASSY, 2300 SYM Doors linkage
(4) / ESC, Bowl cover with hinges and pivots
(4) / MNMTR Ports, end PT
(4) / Liner, bias MNTG Plates
(4) / WLDMT, INTFC Chambers separate NOZ
(4) / INJ, Dual, FACSEAL, IEP, HNYCMB, CER
(4) / Windows, ceramic LSR repair
(4) / Windows, quartz
(4) / Rings, edge combo quartz, 12"
(4) / Multiport vacuum valves
(4) / Plasma door shaft sleeves
(4) / Windows, CER LLT CTD Bayonet 2300
(4) / ESC, Tunable M-Z, 12"
(4) / Chambers, top PC 2300 MTL/PL
(4) / TCR
(4) / Liners, SYM Hi-flow 2300 SRC
(4) / Liners, fixed outer ACME 230
(4) / Cantilever liners
(4) / ESC Insulator rings
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Left hairdryer)
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Right hairdryer)
(4) / Bias matches
(4) / He enclosures
(4) / PS 15 ABD 24 VDC
(4) / VME
(4) / VAT Pendulum 2300 Valves
(4) / 2.7 L Turbo VAC PMP
(4) / AC Enclosures
(4) / RF Carts
(4) / Node 1
(4) / Interlock boards
(4) / Proces manometers
(8) / Chamber and foreline manometers
(4) / TCP RF Cables
(4) / Bias RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是一款为满足半导体制造行业的精确需求而设计的蚀刻器/asher。这一先进设备经过专门设计，以满足半导体器件制造中所用基板的湿化学加工要求。这件设备的主要目的是选择性地在硅片上蚀刻/灰层材料。它能够生产出薄薄的材料层，以便创造出只有纳米厚的特征。薄层对于控制电阻元件如晶体管的尺寸和特性至关重要。2300 Kiyo MCX是一款紧凑、重复的机器，在批处理模式下工作。它是一种具有水平室和粉末分散系统的三轴设备，配有集成的磁性喷雾。喷雾剂将均匀的材料层散布在基板上，然后使用传统的湿化学工艺将其蚀刻/粉刷。设备包括几个部件，如循环过滤器、石英包络和真空单元。石英包络防止来自电阻元件的热量影响基板的其他区域，从而实现精确的蚀刻/灰化过程。使用真空机除去蚀刻残留物和多余材料，而循环过滤器除去污染物和颗粒物，确保产品质量最高。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX能够以大约10英尺/秒的速度运行,从而提高了生产效率和可重复性。所有湿化学处理步骤都是自动化的，而反馈控制系统则允许用户监控过程，并根据需要轻松调整参数。此外，该工具内置了安全功能，包括警报和联锁，以确保所有流程安全完成。2300 Kiyo MCX实现的高精度和可靠性使其成为半导体制造行业复杂基材加工需求的理想选择。凭借其自动化的系统和全面的安全功能,该蚀刻器/asher能够可靠地生产高吞吐量的高质量产品。
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