二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #9265975 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是半导体工业常用的等离子体蚀刻&Asher设备。这套可靠的系统具有高性能等离子体源、全尺寸紫外线（UV）灯和功能丰富的用户界面。2300 Kiyo MCX专为半导体器件蚀刻而设计,具有高功率13.56MHz高频电源以及行业标准的C2F6、NF3和SF6气体。它还支持硅、石英、SiGe、SiN、SiO2、TiN、TiO2、Al、NiCr等多种材料的蚀刻。该单元还包括一个全自动的用户界面，允许用户快速、轻松地设置、监控和修改流程配方。它还具有气体控制自动化功能,能够在操作人员干预最少的情况下实现快速一致的流程。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX还能够同时控制多达8种配方的工艺条件，从而提高加工灵活性和吞吐量。该机运行成本低，能效高，功耗低。它采用高效气体输送工具，通过确保气体的恒定流动帮助降低材料成本。资产还具有若干安全功能，例如处理前后的自动模型检查，以提高操作安全性。这些功能加上精确的工艺控制,使2300 Kiyo MCX成为许多行业的理想蚀刻和灰化解决方桉。