二手 LAM RESEARCH 2300 KIYO METAL(EFEM/TM) #9134009 待售
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已售出
ID: 9134009
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etcher, 12"
EFEM / TM
Configuration of SMIF
Signal tower: (3)colors
Number of Loadport: Missing
Parts no. of ATM robot: 151864
Buffer station: 25 slots, 1 Buffer station
ATM robot
(1)Aligner
Configuration of transfer chamber
Number of loadlock: 2 LL / 4 Slot cool chamber
Model of transfer robot: Megatran7 / Brooks
Parts no. of rocker valve: 853-007859-9223
TM Pressure gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series 640
LL Pressure gauge: Hasting
Configuration of etch chamber
Missing champer: PM2, PM3
Configuration of MW chamber
Missing champer: PM1, PM4
Configuration of gas panel, etch chamber
Missing gas panel: PM2, PM3
Power:
208VAC
3ph
400AMPS
50/60Hz
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 KIYO Metal（EFEM/TM）是一种用于半导体器件制造的下一代蚀刻器和asher。此工具旨在实现快速原型设计、过程开发和高级设备功能的生产。2300 KIYO TM凭借其先进的蚀刻前控制和高选择性能力,可提供最高水平的精密气相蚀刻和粉碎机。2300 KIYO可与硅、石英、玻璃和金属等多种基材搭配使用。该工具能够支撑基本的沟槽蚀刻和深孔蚀刻参数。它的深孔蚀刻能力允许对亚微米结构进行处理，而其浅沟蚀刻能力则可以形成超薄层。该工具还配备了多区域温度调谐和LP-RF技术等先进功能，以微调特定应用的蚀刻条件。2300 KIYO TM设置包括一个专有的高频射频发生器、离子源电源、线性离子引导设备和真空室。该工具还支持1面和2面晶片以及多个蚀刻和灰化工具。该系统包括一个最先进的自动化控制器，确保快速和可靠的过程控制。2300 KIYO还有一个集成的可编程静电卡盘，确保提高工艺产量。它还内置了气体面板和真空室，使设备能够远程运行。该机设计为实现高选择性和提高蚀刻速率，总蚀刻速率高达5E10 torr。该工具还包括一个自动晶圆跟踪工具，确保一致的蚀刻和高吞吐量。总体而言,LAM RESEARCH 2300 KIYO是一款功能强大的蚀刻器和粉碎器,旨在实现高级设备特性的快速原型设计、工艺开发和生产。其先进的特性和能力使其非常适合半导体工业中的设备制造。
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