二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293593184 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款多功能真空蚀刻器/asher，设计用于提供多种材料的高精度蚀刻和灰化。该设备广泛用于半导体制造过程，能够以高重复性和准确性对晶片和基板进行蚀刻和灰化。该系统可以蚀刻和作为硬材料以及溷合塑料和聚合物薄膜，而不会损坏材料的表面。这是由于该工艺的准确性和可重复性，允许精确控制蚀刻的厚度和所需的灰度。该单元可实现多种蚀刻和灰化过程,如介电蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）和反应性离子灰化（RIA）。它还具有先进的过程控制能力，以促进快速和可靠的结果。自动反馈控制监控过程,以确保均匀蚀刻和灰化,同时保持可重复性和准确性。2300 Kiyo先进的工艺室设计采用干式真空蚀刻和灰烬材料，降低了不同基板间交叉污染的风险，降低了操作成本。该室还具有卓越的气体注入能力，能够精确控制沉积速率。蚀刻和灰化过程在可编程和封闭的环境中完成，以确保最大限度地减少对化学品、气体和颗粒的暴露。这降低了颗粒污染的风险，提高了工艺的整体清洁度。柔性腔室设计和先进的工艺控制在吞吐量、配方管理、生产调度等方面也提供了极好的工艺灵活性。该机还具有最大的流程灵活性,能够同时运行批处理和连续处理模式。总之，LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一种先进的蚀刻器/asher，专门为半导体制造业中晶圆、基材和多种其他材料的蚀刻和粉刷而设计。它具有先进的腔室设计和过程控制功能,可提供卓越的工艺灵活性和精确度,并且其闭合工具操作可确保最大限度地减少对化学品、气体和颗粒的暴露。