二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634814 待售
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已售出
ID: 293634814
晶圆大小: 12"
System, 12"
FI
MF
Chamber
AC Rack
Gas up frame and pipe
Load port
Parts box
Gas box
Gas box inlet option: Reg filter inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Transducer type: Display
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Gas delivery type: On-board (3 Line)
Injector: Standard (-072)
No leak
O-Rings: Fluorosilicone
PM to pump interconnect: Pump to PM, 100ft
Heated pendulum valve
MFC Type: STEC SEC-Z313
Line 1:
Gas flow-On Board: 1000sccm
Gas type-On Board: N2
Line 2:
Gas flow-On Board: 5000sccm
Gas type-On Board: O2
Line 3:
Gas flow-On Board: 2000sccm
Gas type-On Board: Ar
(3) Load port surface foggy non-functional
Missing parts:
Cooling station
(2) Buffer stations
Does not include HDD.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX是一种高效的蚀刻器/asher,能够提供行业标准的高级材料蚀刻/研磨和创新工艺能力。此蚀刻器/灰化器旨在将详细的结构和图桉精确地蚀刻到各种尺寸不超过6英寸的基板中,并能够支持当今最先进的蚀刻/灰化物应用。2300 Kiyo EX配有内置的、功能强大的超高真空（UHV）等离子体蚀刻设备和大功率射频能源和涡轮泵，使用户可以通过增加蚀刻率稳定性实现对高蚀刻选择性的更好控制。LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX还包括多室配置和先进的室温控制系统，用于更精细的温度控制和更清洁的结果。此外，这个蚀刻器/asher单元还配备了一个强大的负载锁定机，可以快速、安全地将基板送入和送出加工室，以便更快地装卸晶片。Kiyo EX还配备了高精度的等离子体控制端点检测工具，使用户能够在蚀刻/灰分操作过程中准确、一致地测量蚀刻/灰分深度。2300 Kiyo EX具有先进的功能和最先进的功能,非常适合进行大容量蚀刻/灰分操作,并具有处理最具挑战性的蚀刻/灰分应用程序的灵活性。此蚀刻器/灰烬资产与所有主要晶片清洗过程兼容,并提高了均匀性和吞吐量,以满足所有类型的蚀刻/灰烬要求。Kiyo EX具有先进的控制功能和工艺功能,是一款可靠、高效的蚀刻器/灰化器,可实现前沿蚀刻/灰化性能。
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