二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634889 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一种蚀刻器，或称asher，用于半导体工业。它主要用于在半导体制造过程中蚀刻或绘制表面图样并创建开口以形成材料中的图样,如多晶硅、多氧化物栅极堆栈和聚酰亚胺薄膜。它还从其他表面去除了氧化物、聚酰亚胺和其他材料膜。2300 Kiyo是一款半自动机器，一次最多可处理十个晶圆。它具有精确的端点检测器,可精确控制蚀刻速率和定时,还提供闭环反应温度控制,可精确控制温度,精度在0.5 °F以内。而且机器具有低颗粒系统，因此微粒污染最小化，产率一致。LAM RESEARCH 2300 Kiyo具有多种安全特性，使其成为半导体制造工艺的理想选择。它被设计成节能的，它对空气的利用使它本质上是安全的。此外，该机器的设计是为了限制进入危险区域，并在线联锁系统防止任何意外排放。机器尺寸为58 x 37 x 35英寸,内部腔室采用4上设计,以实现最大的边到边均匀性。2300 Kiyo有一个内置的碳喷射探测器，通过允许操作员在蚀刻循环的任何时刻监控晶片的蚀刻速率，可以实现更精确的蚀刻控制。它还有一个无浴冷却系统，这有助于降低相关的维护成本。总之，LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款考虑到安全性和准确性的半自动蚀刻器。这种多功能蚀刻器具有多种优点，如低粒子排放、低能耗、串联互锁系统和内置的碳喷射探测器。它非常适合半导体行业，提供可靠的性能和一致的结果。