二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634890 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款用于半导体加工的高度先进的蚀刻器/asher。它是一种具有蚀刻和灰化功能的单室设备。该系统采用先进技术和性能特性设计，以提高工艺效果。2300 Kiyo设计极易使用和维护,具有用户友好的触摸屏界面和组织良好的设置选项。LAM RESEARCH 2300 Kiyo在多个应用领域具有高度的能力,包括集成电路制造和非易失性内存制造。该装置采用注气装置（GIS）和多流气体分配机（GDS），以确保最优工艺控制。GIS能够进行高度精确和可重复的流量控制,而GDS允许同时运行多个独立的蚀刻配方。此外,该工具还包含一系列功能,使其适合许多不同的过程,包括远程端点调整和灵活的配方。蚀刻资产还提供了一系列由索引器控制的硬件选项,包括高速扫描仪、可旋转样品支架和对齐模型。这样就可以制造高度复杂的结构,而无需手动对齐。该设备能够在高达200 °C的温度下运行，并且可以通过一系列蚀刻工艺处理介电材料和导电材料。此外，2300 Kiyo还提供了一系列安全和环境保护，包括过程结束废物回收系统和流量真空密封系统。其直观的HMI允许用户实时监控所有工艺参数和反应速率。所有这些特性使LAM RESEARCH 2300 Kiyo成为一种高效、高效、可靠的半导体制造工具。