二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293651549 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款先进的蚀刻器/asher设备,旨在实现各种材料的精确蚀刻和灰化。该系统配备了集成的负载锁、真空泵和湿度控制，允许对腔室内部的大气进行精确控制。该单元的设计可容纳200毫米（8英寸）和300毫米（12英寸）的基板,提供半导体晶片、MEMS和其他材料的精确蚀刻和灰化能力。该机采用集成真空工具和高度自动化的过程控制，允许重复，可靠的结果。它还具有最多99种配方的工艺配方存储容量,并且可以连接到其他系统以进行远程监控。2300 Kiyo还具有多种安全特性，包括直接气体清扫和安全联锁。LAM RESEARCH 2300 Kiyo是当今市场上最先进的asher/蚀刻商之一。其精确的控制能力使其适合生产光掩模、MEMS结构和其他精细控制的结构。该资产还具有低粒子排放的特点，适用于半导体制造环境。它的工艺配方存储允许存储和快速召回最佳条件,避免停机。该型号还配备了先进的诊断和自我诊断功能，以确保设备正常运行时间和结果的准确性。该系统体积小,非常适合需要在有限的空间上获得精确结果的实验室。简而言之，2300 Kiyo是一个先进的asher/etcher单元，非常适合生产光掩模、MEMS结构和其他精细控制的产品。其高度自动化的过程控制、低颗粒排放和小尺寸使其非常适合需要精确结果且空间有限的实验室。