二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一种自动蚀刻/灰分设备,其设计目的是在具有湿法和干法功能的单一工具中对多个晶片进行蚀刻和灰分处理。该系统设计可靠、高效、经济高效。Kiyo为多个晶圆配备了自动晶圆传输、晶圆处理和晶圆冷却功能。它包括一个独立的工艺室，由坚韧、耐腐蚀的不锈钢构成，以确保可靠的操作。腔室在所有晶片上提供均匀的热和工艺条件,从而实现一致的蚀刻或灰化性能。这一单元还配备了石英边缘环，使均匀性最大化，使工艺材料的重新沉积最小化。Kiyo能够处理各种各样的晶圆尺寸，从2-8英寸晶圆直径不等。它能够蚀刻和粉刷钨和多晶硅等高密度材料，具有高长宽比壁和通气等多种特点。本机还能处理小通道、夹杂物，以及其他0.1微米至0.5微米的高长宽比特性。Kiyo旨在提供可重复、精确的蚀刻和灰化性能。它配备了高速、精确调谐的质量流控制器和具有实时数据记录能力的数字过程控制器。该工具能够同时蚀刻和灰化多个晶片,从而实现极快的处理吞吐量。它具有可靠、可调、温度控制的工艺气体可变速蚀刻和灰化输送。Kiyo配备了晶圆装卸的两级真空资产。它还有一个自动晶圆清洗模型，利用无臭氧层流进行深度清洗。该设备还包括一个在线晶圆计量系统，确保蚀刻和灰化特征的准确性和可重复性。总体而言，2300 Kiyo蚀刻/灰分单元是一种高效且经济实惠的机器，可产生高质量的蚀刻和灰分性能。