二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款来自LAM RESEARCH Corporation的革命性蚀刻和粉刷设备，旨在提供可靠、可重复、高效的设备特性处理。它具有两个先进的上游和下游蚀刻系统-高级蚀刻和灰分系统（AEAS）和高蚀刻和灰分单元（HEAS）。机载基于AI的高级配方能够准确控制蚀刻和灰分工艺，从而实现优越的设备结构，而不会损坏硅结构。AEAS机器以超高速率快速蚀刻设备体系结构,并能够为每个模具定制工艺参数。这使得该工具能够以极好的可重复性获得卓越的产量。HEAS资产进一步提供了灵活性,可同时满足深蚀刻和浅蚀刻要求,同时保持卓越的特征保真度。2300 Kiyo还具有高分辨率成像模型,可在模具级精确监控特征。这与自动检查和自动补偿功能相结合,可实现准确和可重复的设备结构执行。此外,高级监控功能还提供了对过程控制参数的可见性,并允许在过程漂移时进行远程调整。LAM RESEARCH 2300 Kiyo的独特之处在于其蚀刻和金属沉积阶段的分离，提供了更高的器件产量，减少了检验时间，以及出色的后处理性能。设备先进的边到边均匀性能确保薄膜在紧密公差内均匀沉积，从而产生高质量的特征结构。此外,系统还提供完整的计量功能。自动补偿功能允许快速测量模具特性,从而实现更大的控制和提高产量。该单元提供了卓越的可靠性和可用性,同时使用了最低限度的能源,使其成为满足蚀刻和灰化需求的理想的经济高效解决方桉。2300 Kiyo结合了高性能和可重复性,是一款前沿蚀刻和asher机器,一定会为生产力树立新的标准。