二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829226 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款为中低批量生产而设计的蚀刻器/asher。它是一种经济高效、易于使用、吞吐量高的设备。2300 Kiyo配备了能轻松模彷客户工艺要求的源/目标夹具，以及端站热阴极离子枪。21"腔室提供处理1"至18"之间所有基板的能力。LAM RESEARCH 2300 Kiyo支持模拟多模式，使阴极和阳极都能独立控制，从而实现蚀刻过程的最大优化。2300 Kiyo提供了广泛的工艺选择，包括样品装卸、蚀刻配方、压板提升、泄漏阀、泵降等。工艺化学也完全可定制以满足客户的需求。LAM RESEARCH 2300 Kiyo使用四面板液晶用户界面，方便操作和性能监控。该系统设计有联锁室门，以维持安全的工作环境。再者，2300 Kiyo内置了温度、压力、电阻率等测量，用于全过程监控。具有干蚀刻和等离子体蚀刻的能力，可以提高器件性能，提高结果的均匀性。LAM RESEARCH 2300 Kiyo占地面积小，可安装在小型生产区域内。该装置具有先进的安全功能，包括真空传感器，用于检测操作员的任何潜在风险，例如长时间接触危险化学品。2300 Kiyo还配备了一个LANTIQ™的数字控制，无需在内存中存储不同的配方设置。LAM RESEARCH 2300 Kiyo的一个先进特点是它的等离子体发射控制有助于降低蚀刻速率和最大限度地减少等离子体颤动。2300 Kiyo是中低批量生产和原型制作的理想选择。该机操作简单,具有先进的安全和过程监控功能.它旨在满足客户的确切流程要求。即使使用小型基板也能产生一致的结果,有助于降低成本和吞吐量时间。