二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9161714 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款为满足半导体制造商需求而设计的先进蚀刻器和asher。它能够以精确和一致的方式处理各种蚀刻和灰化晶片、基材和其他材料的请求。该蚀刻器能够使用各种尺寸的晶片，最多可施用三层各种氧化物或氮化物。先进的蚀刻器采用多边形多头溅射设备打造，使其轻松地覆盖了广阔的区域。它由一系列设计用来创造蚀刻环境的真空室提供动力。每个腔室都有一个专用的溅射枪可以用来蚀刻材料，或者一个光学聚焦的离子泵可以用来快速的离子轰击。蚀刻机还包括负载锁定机构，以确保蚀刻加工过程中的材料完整性。2300 Kiyo蚀刻器配备了一系列先进的控制和监控系统。其中包括用于精确气流控制的双轴控制器、用于监测过程压力的一组真空传感器，以及用于精确温度控制的先进数字温度控制器。蚀刻器还有许多过程诊断系统，如周期结束数据记录系统、等离子体诊断单元和电弧感测机。LAM RESEARCH 2300 Kiyo是生产高品质集成电路的可靠而稳健的工具。其用户友好的图形用户界面（GUI）和自动化的过程控制允许高效生产,同时仍允许操作员访问高级过程设置。为了保证晶片的优越产量,该工具具有多种可选功能.其中包括一个自动对焦工具、一个臭氧监测仪和一个可选的现场检测资产。此外,还可以使用可选的数据记录模型来监视设备随时间推移的蚀刻性能,从而使操作员更好地了解该过程。这些功能使2300 Kiyo成为功能强大且用途广泛的蚀刻和灰化工具。