二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9195889 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款功能齐全的干式蚀刻器/asher设备，用于半导体器件组装和生产中的物理化学蚀刻应用。2300 Kiyo采用最先进的感应耦合等离子体放电技术设计，能够提供稳定、精确的精密蚀刻。该系统适用于各种结深度和生产率,包括浅结（SJT）和深结（DJT）制造工艺。该单元采用多腔室设计,有助于减少产品转换所需的时间,从而实现更高效、更经济高效的生产方法。LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款先进的干蚀刻机。它使用三个主要组件提供高精度蚀刻-多级真空室、感应耦合等离子体放电源和电子数字控制器（EDC）机。真空室包含六个伸缩处理平台，提供高达五倍大气压的总容量，有助于优化处理时间。ICP源设计用于防止高功率应用过程中的电弧，并提供广泛的等离子体功率。而EDC工具提供了准确和可重复的过程控制，以及实时数据监控来衡量资产绩效。2300 Kiyo模型经过优化,可用于多级处理,从而实现蚀刻和等离子体增强模式之间的快速过渡。它还为浅层结和深层结的制造工艺提供了高精度的蚀刻应用。该设备采用全包工艺气体包装，能够处理各种蚀刻化学物质，包括：氯、氧、氮、三氟化氯、三氯化硼和其他卤素化学物质。该系统采用用户友好界面和自动化技术设计，能够提供全面的操作和过程配方。直观的用户界面使得编程和监控蚀刻过程的进度变得容易。此外，LAM RESEARCH 2300 Kiyo配备了一套数据分析工具，帮助用户在流程、配方和材料的选择上做出知情决策。2300 Kiyo是适用于各种蚀刻应用的高级设备,具有强大的工艺功能。它设计用于生产和装配环境,提供可靠且可重复的蚀刻性能。LAM RESEARCH 2300 Kiyo凭借其高精度的功能和全面的工具和技术组合,为蚀刻半导体器件提供了高效、经济高效的解决方桉。