二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9249856 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款先进的原位蚀刻和灰化工艺工具。它能够提供极低的蚀刻速率和出色的蚀刻均匀性,并具有应用程序和过程的灵活性。2300 Kiyo具有许多功能,使其适合各种工艺需求。LAM RESEARCH 2300 Kiyo具有0.1至1.0 nm/min的低蚀刻速率，部分原因是其高效射频感应耦合等离子体源。该源还提供了稳定和均匀的等离子体，并且能够以精确和精确的精度对几乎任何材料进行蚀刻。LAM 2300 Kiyo还具有光学发射率控制功能,可增强蚀刻均匀性和工艺控制。LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo上的Process Chamber提供多种功能，包括自动停放、单晶片传输、装载、卸载和卡带/手动装载机。它还包括一个专利的等离子体冷冻单元（PCU），它利用氮作为冷却剂来减少晶圆变形，加速冷却，减少氧化。PCU提供卓越的过程控制和一致性。2300 Kiyo是一款多种材料和工艺的多功能蚀刻器/asher。它提供了准确和可重复的蚀刻结果，并且可以根据各种应用进行定制，从2英寸到3英寸晶圆。此外,LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo还可以配置可选组件,如标准手动和自动装载机/卸载机系统、双晶圆传输系统和集成清除系统。这些功能为用户提供了很大的灵活性。总之，2300 Kiyo是一种先进的原位蚀刻和灰化工艺工具，为各种应用提供了极好的蚀刻速率和均匀性。其专利PCU提供了增强的过程控制，光发射率控制也进一步降低了过程的可变性。LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo的多功能和可定制特性使其成为汽车、半导体和医疗设备市场的诱人选择。