二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9302266 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一个最先进的等离子体蚀刻器/asher系统，设计用于精确可靠的晶圆处理。它的特点是创新、紧凑的设计，优化了设备的足迹，并允许更精确的移动和控制。其先进的能力与卓越的可靠性和可重复性相辅相成，这种可靠性和可重复性由卓越的静电场、精确的扫描运动和精确的气流提供，用于精确的360°单晶圆蚀刻。强大而先进的Kiyo具有获得专利的电弧检测机制（ADM）,可让工艺用户精确控制蚀刻过程,并确保出色的蚀刻精度和一致性。使用这种基于应用程序的控制,用户可以调整应用的气流和压力,以获得精确的蚀刻结果,从而最大程度地减少刀具运行周期的数量。此外，Kiyo可以在难以蚀刻的材料上提供高蚀刻性能，如光刻胶、钨、硅、高k电介质和其他材料。这是由特定于应用程序的晶圆处理模块（WHM）实现的,这些模块通过高速扫描提供精确的运动和运动控制。Kiyo还配备了多个节气门和质量流量控制器，能够在晶圆表面上实现精确的气体控制和均匀的气体分布。这提供了极好的可重复性，这在诸如MEMS和微处理等应用中是必不可少的。Kiyo还包括一项特殊功能,可帮助确保提供清洁蚀刻结果-这是一个获得专利的泵系统,可帮助在蚀刻之前、期间和之后疏散空气和副产品。除了先进的功能外,Kiyo还采用图形用户界面（GUI）来设计易用性。GUI允许流程工程师轻松设置蚀刻参数、监控刀具性能并优化流程配方以获得一致且可重复的结果。此外,Kiyo能够将数据传输到USB驱动器,甚至可以连接到主机PC进行进一步的数据处理和控制。总体而言,2300 Kiyo是一种理想的蚀刻解决方桉,可为用户提供精确且可重复的结果,同时还可最大程度地减少工具运行时间。Kiyo利用创新的运动控制、精确的气流和先进的功能,如泵系统和特定于应用程序的WHM,为任何应用程序提供最佳的蚀刻性能。