二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9372748 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一种用于加工半导体晶片的最先进的干蚀刻器/灰化器。这种设备是为高精度、高吞吐量和均匀性而设计的。该系统先进的等离子体源技术和腔室设计提供了卓越的均匀性和均匀性的蚀刻速率。它能够为MEMS和电力电子等尖端技术生产高质量的介电蚀刻和其他薄膜。Kiyo利用RIE和RF MFR蚀刻技术获得优异的蚀刻效果。发电机在每一次蚀刻周期中都保持高水平的吞吐量和高质量的蚀刻结果。精确的在线计量单元提供在线实时蚀刻速率控制和后过程分析，以确保蚀刻结果符合所需的规格。Kiyo包括一个过程反应器室，它允许等离子体过程的均匀性和可重复性。腔室连接到等离子体发生器，该等离子体发生器产生操作蚀刻过程所需的射频（RF）功率。该机器还包括一个晶圆转运站，使操作员可以通过手动或自动加载来装卸用于蚀刻的晶圆。除了蚀刻之外，Kiyo还提供了ashing功能。灰化是等离子体清洗的一种形式，它从晶片表面去除物质，包括光致抗蚀剂和其他有机或无机污染物。Ashing是许多制造过程中的关键部分，被用于创建半导体器件所需的保护计划。2300 Kiyo是一款高效可靠的蚀刻器/asher，为生产先进半导体器件提供理想性能。其精确的在线计量和控制工具为高效的制造过程提供了最高的精度。该资产支持批处理和单晶片处理,为各种用户应用程序提供了灵活性。该模型还能够从单个控制器运行完整的流程配方,从而提供经济高效的处理。