二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9212622 待售
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x蚀刻器是一种自动化的化学机械抛光（CMP）设备，设计用于芯片开发应用的高级介电和金属蚀刻层处理。该Kiyo3x系统为关键介质和金属CMP应用提供了增强的平面化和特征轮廓控制,提高了器件产量,降低了总拥有成本,优化了工艺集成。LAM 2300 Kiyo3x具有许多先进的部件,包括获得专利的微型定位装置（MPS）,可在两个机械阶段之间实现精确和可重复的基板对准和运动。这为极均匀的蚀刻层结果提供了微米级可重复性。该Kiyo3x最多可配备两个液体控制器和两个LAM Endura模型化的CMP工艺,允许定制配置以满足特定的应用要求。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x具有高级工艺控制功能。机器可以使用后处理分析或原位计量控制多达四个过程参数。此外,该Kiyo3x还配备了高级流程控制工具,可提供实时流程控制和对监测结果的反馈。该Kiyo3x可配置各种常规和统一的化学和机械阶段及工艺配方。机械级提供广泛的运动和旋转,以满足各种处理需求。2300 Kiyo3x还包括一系列用于精确特征控制的专利喷嘴和基板适配器设计,为精密蚀刻层提供了一系列轮廓形状和特征分辨率。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x为金属和介电蚀刻层工艺提供了卓越的性能和广泛的功能,因此可以为各种芯片开发应用提供精确、优化的结果。该资产提供了出色的特征轮廓控制和平面化,以实现最佳生产产量和降低总拥有成本。此外，精确的实时过程控制和监控可确保设备的最佳产量和过程可重复性。
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