二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9249855 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x是一种用于半导体制造工艺的最先进的蚀刻器/asher。它提供了旨在提高生产率、产量和质量的先进技术和功能。它是一种用途广泛的机器，可用于蚀刻和灰晶片、边框和其他半导体组件。2300 Kiyo3x采用闭环集成过程监控（IPM/C）设备,可确保产品可重复性和吞吐量优化。这台机器还提供精确的温度控制、功率监控和射频能量耦合，以确保工艺针对每一个特定的晶圆进行优化。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x配备了先进的原位集群去除检测（CRD）系统，该系统使用电容传感器阵列实时检测和监控晶片集群。2300 Kiyo3x包括具有集成散装气体输送机的高性能二元气体单元，可实现精确的气体控制和溷合气体输送。此外，这台机器还配备了高速气体开关工具，气体流动中断最小，可实现高通量和低交叉污染。该资产还配备了多项安全功能，如，一个防止意外过程压力尖峰的低功率负载锁、高电流等离子体保护以及几个可听和可视泄漏探测器。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x分为三个基本模块：反应性离子蚀刻（RIE）、酸性蚀刻（AE）和Asher。RIE模型是一种先进的基于真空等离子体的工艺，用于去除抗蚀剂、薄膜和聚合物。AE设备用于将图样从掩模传输到晶圆。Asher是一种后处理蚀刻器，用于清除蚀刻过程后残留的残留物。2300 Kiyo3x提供了一个全面的工具管理软件包,可帮助安排和管理每个特定应用程序所需的工具。该系统通过改进数据管理和共享来减少设置时间和生产停机时间。此外，LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x通过监测流程数据和详细分析室内性能提供流程支持。这有助于确保持续的高产量。总之，2300 Kiyo3x是一个先进的蚀刻/asher单元，提供最新的技术和特点。它提供了出色的过程控制和监控、高吞吐量、低污染和总体提高的生产率。所有这些功能使LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x任何半导体应用的绝佳选择。