二手 LAM RESEARCH 2300 Metal 45 #293821877 待售
网址复制成功!
单击可缩放
LAM RESEARCH 2300 Metal 45是一款先进的asher/etcher,旨在满足当今半导体封装行业的苛刻需求。该设备通过朗缪尔-布洛杰特薄膜形成工艺提供高性能、低温蒸气蚀刻能力。该系统能够以精确的厚度沉积金属或氧化物薄膜,从而获得优异的蚀刻性能。此外,该单元可以配置为提供高精度的图样和通过孔形成先进的堆迭和溷合组装。2300 Metal 45由一个加工室、一个易于访问的控制器和一组工艺头组成。机器的核心是加工室,该室配有气体引入装置和管路阀,能够输送各种溷合物,包括氙气、氮气、氧气和其他蚀刻气体。电子束源能够将引导到腔内目标材料上的气体电离。工艺头可以精确调整,以提供一个统一的蚀刻使用专门设计的蒙版和参数为各种应用。控制器专为直观的用户界面而设计,提供了一整套诊断和安全功能。LAM RESEARCH 2300 Metal 45允许金属和氧化物薄膜的精确且可重复的蚀刻性能降低到千分之一英寸(1微米),热能要求低,晶片磨损不会过多。这种先进的蚀刻器/asher可以定制以满足行业和客户的特定要求,帮助半导体制造商节省宝贵的时间和成本,同时提供卓越的蚀刻性能。该工具在控制多层材料沉积的温度、压力和紫外线辐射等加工参数方面具有卓越的精度。总体而言,2300 Metal 45是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在为半导体封装行业提供卓越的蚀刻性能和精度。其先进的功能和可定制的配置使其成为寻求其应用程序高性能和可重复结果的制造商的理想工具。
还没有评论