二手 LAM RESEARCH 2300 Metal #293752355 待售

LAM RESEARCH 2300 Metal是一种用于加工半导体晶圆的蚀刻和灰化设备。该系统适合于需要在氮气气氛中蚀刻和粉刷300 mm和较小半导体晶片的应用。2300 Metal是一个紧凑、全自动的单元,旨在提供高效、经济高效的晶片处理。它配备了三个高级工艺室，一个高级基板转移（AST）机，一个控制器和一个图形用户界面（GUI）。刀具的加工室能够进行湿蚀刻、灰化和掺杂灰化过程。湿蚀刻室包含金属和化学载荷溶液，当添加电流时形成化学反应区。该腔室还能够执行扩散自动编码过程。灰化室具有高纯度氮和高温反应室。该腔室用于在晶圆表面形成氧化层。掺杂灰化室被配置为将掺杂物如磷化氘加工成晶片的结构。LAM RESEARCH 2300 Metal中的AST资产由几个锁载室和一个旋转机械臂组成，该臂将晶片从一个腔室移动到另一个腔室。该模型有助于减少晶圆污染，防止氧化或与大气反应。设备的控制器是一个强大的计算机系统，带有触摸屏GUI，允许用户监控整个过程。控制器还允许用户为过程的效率和准确性设置参数。2300 Metal旨在为蚀刻和灰化过程提供高工艺一致性、重复性和吞吐量。LAM RESEARCH 2300 Metal以其强大的先进工艺室组合、简单的可用性和可靠的性能,是任何半导体制造实验室的宝贵工具。