二手 LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599 待售

LAM RESEARCH 2300 Metal是一种蚀刻器/asher，设计用于蚀刻和粉刷各种金属和其他半导体材料。这是借助三个等离子体腔室、两个蚀刻腔室和一个asher的多腔室设计实现的。它是一种可靠的工艺解决方桉,可用于金属的一致蚀刻和灰化,并具有可重复的结果.蚀刻室能够使用各种蚀刻气体偏好来蚀刻各种金属，如氮气、氢气、氧气和氯气。它还包括许多在用户友好的用户界面帮助下轻松执行的流程配方。LAM RESEARCH还具有集成的多室配置,以确保高效、均匀的蚀刻和灰化。Asher能够对包括金、铜、铝、钛在内的多种金属化基板进行灰化处理。此外，它还可以洗去钝化层、电介质、多晶硅等种类繁多的非金属底物。Asher具有1至5微米的灰度深度，过程重复性大于1%。2300 Metal配备了排气安全探头、集成倾斜安全监视器等多种安全功能。排气安全探头设计用于监测腔室内产生的压力，以便延长操作。集成倾斜安全监视器用于确保腔室正确对齐,以防止过度蚀刻或灰化,从而避免损坏基板。此外,它还具有高性能的自动化控制器和图形用户界面,可全面控制蚀刻和灰化过程。集成用户界面为用户提供了快速编程工具、监控蚀刻和灰化过程以及更改/修改/读取腔室参数设置的能力。该控制器还设计用于与其他蚀刻系统和自动化控制系统的轻松集成。整体而言，LAM RESEARCH 2300 Metal是金属蚀刻和灰化的绝佳选择。它提供了最高的精度、准确性和可靠性，对基板的损害最小。它还具有可靠、高效的客户服务,便于设置和扩展操作。