二手 LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP #9241984 待售

LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP是一种蚀刻器/asher设备,旨在满足较短的工艺时间并提供均匀蚀刻的图样。它是用最新的技术进步建造的，提供精确的结果。该系统提供了两种主要的工艺技术,可以选择添加额外的工艺。它配备了化学放大光刻（CAPL），可以蚀刻精确度为+/-0.001微米的图样。它还拥有一个ALD（原子层沉积）选项，非常适合创建亚微米模式和均匀薄膜。此外,该单元还提供了化学空气蚀刻（CAE）选项,用于在设计中蚀刻标签或其他精细特征。该机采用45厘米× 45厘米、1类洁净室兼容、电梯式感应耦合等离子体（ICP）源。它提供了一个全自动晶片处理工具，用于精确和高效的晶片分配，以及在铝、铜和各种低k材料等各种基材上的统一结果。ICP源还具有双气体输送资产，允许用户将加工气体分开，以达到最小化氧化、渗碳和粘合剂燃烧的结果。此外,该模型还包括一系列真空源,包括涡轮分子、离子吸收器和冷冻泵,确保了加工过程中的最大清洁度。它具有真空密封载荷锁和快速清洗设备，消除了除气和颗粒摄入。该系统最高温度为950 °C，可容纳多达55个晶圆转盘，方便快捷地装卸多个晶圆。简而言之,2300 Metal45-CIP是为满足高性能要求而设计的高级蚀刻器/asher单元。它提供了卓越的工艺精度,并提供了多种精确和统一的结果技术。该工具具有安全、清洁、兼容的设计、快速的晶片处理机和各种吸尘器，可确保各种基材的高效可靠。