二手 LAM RESEARCH 2300 V2 #293595429 待售

ID: 293595429
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Plasma processing system, 12" Etch platform (4) Exelan Chambers (4) Gas boxes Remote power distribution box 3LP EFEM Vacuum transfer module Control rack BROOKS AUTOMATION ATR8 ATM Robot BROOKS AUTOMATION MAG7 VTM Robot (2) FOUPs Cassette type: 25 No conditioning station IPX / EPX Pump for TM Side monitor user interface Stainless wafer pads No UPS No ELB R-O-G-B Signal tower ESC Wafer clamping mechanism ESC Power supply ESC Hose kit ESC Barbed facility plate Wafer life mechanism: Direct drive O-rings: Fluorosilicon / Viton ATH 1600 M Turbo pump Optical emission spectroscopy Chemraz gate valve 2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 V2 Asher是一种全自动、高精度的蚀刻器/Asher,专为某些材料的干蚀刻而设计。它非常适合用于设备制造、半导体设备加工、MEMS生产、电路板制造和其他批量生产过程等应用。它能够达到高达300 µm的蚀刻深度,蚀刻精度± 0.05 µm,并且可以在高达3000 °F (1650 °C)的多种温度下运行。2300 V2 Asher由一个先进的控制器驱动,该控制器包括一个反吹再循环晶片盒式驱动器设备和一个带真空系统的闭环处理室,以实现最佳的过程控制。加工室包含两个独立的蚀刻系统,第一个用于蚀刻基板,第二个用于背面蚀刻。它还包括一个架空机器人定位器和自动对焦软件。晶片盒式驱动器可以有效地加载/卸载晶片,从而提高吞吐量。LAM RESEARCH 2300 V2配备了紧急停止按钮、互锁保护、烟雾检测过滤机、强制空气净化等多项安全功能,以防止有害气体和气溶胶逃离工序室。这些功能确保了蚀刻器的可靠和安全操作。2300 V2提供集成了过程控制和软件的完整蚀刻解决方桉。这包括一组功能强大的流程工具和参数控件,可根据需要进行编程、监控和调整。这使用户能够以最高的精度和可追踪性优化其流程。该工具还可以通过开源脚本语言容纳各种各样的自定义脚本,允许用户根据自己的特定需求修改资产。最后,LAM RESEARCH 2300 V2是一款高级自动化蚀刻器/asher,具有广泛的特性和功能。其先进的过程控制和安全功能以及开源脚本语言确保了可靠和准确的操作。其温度性能、蚀刻精度和吞吐量使其成为批量生产和其他高精度制造工艺的理想选择。
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