二手 LAM RESEARCH 2300 V2 #293777560 待售

LAM RESEARCH 2300 V2是一种高性能蚀刻器/asher，用于从基板上去除材料，以便对电路或蚀刻敏感材料进行图样化。蚀刻器/灰化器能够使用从相对安全到高度腐蚀性的化学物质溷合使用，并且可以处理各种晶圆尺寸，从2-200毫米不等。机器还提供自动基板控制和稳定的高频模块性能，可重复的过程。它的设计具有坚固的双极源，可以精确对齐，在基板上提供一致和均匀的通量密度。2300 V2的高级处理能力通过高性能射频发生器、多区气体分配和自适应过程系统启用。该机可使用多种工艺气体，如HF、O2F2、SF6和Cl2，以及反应物气体溷合物，使其适合在广泛的蚀刻速率和晶圆尺寸上进行蚀刻和灰化应用。多区气体分布保证了均匀而逼真的各向异性蚀刻剖面，而大腔室的设计则为工艺时间和总厚度变化提供了一个稳定的环境。LAM RESEARCH 2300 V2配备了易于使用的触摸屏界面，允许用户快速管理和监控蚀刻器/asher的操作。宽大明亮的控制面板显示操作参数,包括反应范围和无流量时间,从而能够快速诊断和防止潜在的模式缺陷。还可以进行远程监控和调整,使客户能够保持流程一致性。先进的工艺保护系统通过确保等离子体的条件得到优化，以最大程度地减少对附近区域的损害，从而确保了等离子体增强过程中的最佳设备保护。总体而言,2300 V2是一款高级蚀刻器/asher,旨在为客户提供强大而可靠的处理功能,使他们能够放心地处理各种蚀刻和蚀刻/ashing应用程序。