二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9260518 待售
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LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45是一款中型蚀刻机(又称asher)。其先进的特点和尖端的技术特点使其成为精密半导体制造的强大工具。该蚀刻器采用45等离子体源燃烧室,由一个面板、冷却/互锁/Sorce板组和两个独立的电磁线圈组件组成:排气燃烧室的第一源磁体和输入室的第二源磁体。这种结构确保蚀刻器能在等离子体过程中保持高水平的均匀性,并最大化重复性。Etcher配备了多区气体输送系统和气体控制单元,能够提供多种气体流动。这允许使用各种气体设置自定义蚀刻过程。蚀刻器还具有高性能的气体提升喷嘴,可以针对各种尺寸和形状的蚀刻颗粒进行调节,从而产生层层一致的蚀刻形状。蚀刻机还配备了自动清洁功能,有助于确保清洁工作环境,长期使用时不会残留残留物。这样可以减少手动清洁周期的数量,并有助于维护用户的清洁和安全环境。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45蚀刻器易于操作,并带有交互式图形用户界面(GUI),使用户能够控制流程参数、监控流程和故障排除。凭借其先进的功能,2300 Versys Kiyo 45提供了高效可靠的蚀刻工艺。其精度和可重复性使其成为半导体制造中必不可少的工具。
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