二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805 待售

LAM RESEARCH Kiyo是由LAM RESEARCH设计制造的最先进的高通量介电蚀刻器/asher。它支持传统的湿蚀刻和干灰化工艺，以便在进一步加工之前清洗和制备晶圆。由于其创新的设计，Kiyo是高精度介电蚀刻/灰度的绝佳工具，具有双级工艺能力和可旋转卡盘，以提高均匀性。它能够蚀刻多种介电材料如氮化物和氧化膜，以及高k金属栅极堆栈。LAM RESEARCH Kiyo提供单一晶片或吊舱处理配置,最大腔室尺寸为331 mm,最大烤盘温度为500 °C。Kiyo提供了强大的嵌入式机床控制器，允许快速晶圆加载时间和精确的过程控制。机床配有一个专有的虚拟基板控制（VSC）系统，可确保高度可重复的基板。控制器还可以访问实时晶圆数据，如温度和气流，以改进过程控制。LAM RESEARCH Kiyo设计方便、安全的维护和服务。腔室配备了双压力端口，使得工艺周期比单端口腔室更快。还可通过集成的LAM Clean Chamber软件实现自动清洁功能,从而最大程度地减少维护停机时间。此外，Kiyo还提供了高精度温度控制、多气体能力、低颗粒性能等众多先进功能。LAM RESEARCH Kiyo是精密晶圆制备的可靠工具，能够生产出始终如一的优质电介质。提供优质复制品，减产变异，最大鲁棒性。