二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9363127 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45是一款用于工艺开发和IC制造的高性能蚀刻器/asher。此蚀刻器/asher提供高级工艺功能,以满足设备生产的苛刻要求。这是一种通用工具,可用于各种蚀刻和灰化过程。它旨在支持多种蚀刻技术，如金属蚀刻、介电蚀刻、热分解、卤素接触蚀刻、气体接触蚀刻以及与溷合卤素和气相反应物接触蚀刻。它还支持深层RIE和等离子体处理等灰化过程。这种多功能性使用户能够以最少的系统重新配置来支持其特定的流程开发或生产流程。Versys Kiyo 45为用户提供了精确的流程可重复性、"影片映射"和最多可达50步、最多可达256 × 256阵列的流程配方,以及实时OPC（光学临界维度）测量,使用户能够使用集成工具的检查室就地和按需查看其流程质量。该检验室的视野可达40 × 30mm，可用于分析晶片或工件的物理特征。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45利用一个泵组,该泵组可以从0-45升/分钟驱动,用于高级压力控制。同时，Versys Kiyo 45是一种全自动工具，能够在自动选择和自动清洁周期内运行，并利用各种气体和化学品支持蚀刻和清洁过程。Versys Kiyo 45还为用户提供了可选过滤，使用户减少粒子被引入蚀刻/灰烬系统的可能性。该系统还提供液相或气相工艺的清洁就地功能。总体而言,2300 Versys Kiyo 45是一款高级、功能强大的蚀刻器/asher。它为用户提供了更高水平的可重复性、带集成工具检查的按需过程监控以及可选的过滤和CIP过程。Versys Kiyo 45是用户支持其高精度IC制造操作的理想选择。