二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9378309 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45是为微电子和光刻应用而设计的高级蚀刻器/asher，涉及去除晶圆上的材料层。Versys Kiyo 45是LAM RESEARCH对经典Versys Kiyo系列的更新,提供了改进的性能、可靠性和易用性。Versys Kiyo 45具有450°C的温度范围,允许更高的温度和更高效的复杂图案蚀刻。其1KW的Ozone/RF电源具有精密蚀刻能力，在不牺牲基板热均匀性的情况下提供卓越的温度均匀性。获得专利的Free Space Ozone激光器可在晶圆表面提供均匀光束,从而实现精确的蚀刻,同时降低硬件复杂性。Versys Kiyo 45的用户友好型设计包括直观的触摸屏控件和大型显示屏,便于监控过程参数。提供了一系列循环程序,包括顺序蚀刻和并行蚀刻。Versys Kiyo 45具有耐用的不锈钢腔室，旨在优化蚀刻工艺执行，最大限度地减少漂移。其优质的臭氧输送管确保了高清蚀刻模式，降低了结果不一致的潜在风险，同时也缩短了产品周期时间。Versys Kiyo 45还具有自动调节喷嘴,无论基板的表面特性如何,都能确保蚀刻深度的均匀性。Versys Kiyo 45提供了许多独特的功能,包括两级过滤设备,可帮助减少污染,同时确保用户安全。Versys Kiyo 45还提供了一个洁净间就绪的设计，带有磁性屏蔽，可以屏蔽加工室免受外部电场的影响。Versys Kiyo 45还有一个创新的晶圆输送系统，消除了手动操作的需要，最大限度地降低了操作员出错的风险。综上所述，LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45是为微电子和光刻应用而设计的先进蚀刻器/asher。Versys Kiyo 45通过其450°C的温度范围、1KW的Ozone/RF电源、Free Space Ozone激光器、直观的触摸屏控制以及全面的循环程序,提高了性能、可靠性和易用性。Versys Kiyo 45还具有耐用的不锈钢腔室、两级滤波器单元、自动调节喷嘴、带磁性屏蔽的洁净室就绪设计以及创新的晶圆送货机。