二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293758913 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款用于薄膜应用的asher和蚀刻器。它是一种尖端的干蚀刻设备，设计用于金属和多晶硅的深层蚀刻。该系统有两种可用的工艺（透明或自限），可用于各种蚀刻技术。Versys KIYO Poly具有两个独立的等离子体源，可独立用于金属和多晶硅蚀刻，并精确控制两个工艺步骤。等离子体源可实现高精度蚀刻控制，不受其它等离子体源的干扰。该单元还提供工艺灵活性，可用于多种金属合金（铝、钛、钨等）的高完整性蚀刻，以及包括薄至0.3微米的铜膜在内的多晶硅材料。Versys KIYO Poly提供高精度的过程控制,具有预测性蚀刻速率控制、用于统一过程性能的温度截止以及高级过程控制（APC）。它还为金属和多晶硅蚀刻提供了一套通用的工艺选项，包括硼掺杂参数、沟槽蚀刻、垂直阶梯蚀刻和深层蚀刻。该机能够达到+/-1.0微米的临界尺寸精度和亚微米特征分辨率的均匀性。它提供了一种易于使用的远程监控工具,可以通过资产控制进行实时调整。该模型配有高温真空（HTHV）腔室，为不同的薄膜厚度提供均匀的蚀刻速率，确保工艺稳定性。它还具有精确的双射频源设备，用于对蚀刻工艺的最终控制，以及全自动电极发射系统。Versys KIYO Poly是一款多功能蚀刻设备,能够在单个腔室中实现多个设备的单步蚀刻,非常适合原型和生产应用。