二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293762655 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款为多晶硅蚀刻和玻璃介电材料而设计的蚀刻设备。此高级蚀刻器具有高通量、全自动的平台,能够在整个基板尺寸范围内生成具有精确可重复性和均匀性的高分辨率阵列配置文件。Versys KIYO Poly的高分辨率阵列功能使其非常适合光掩码、栅极电介质和电子设备制造等应用。Versys KIYO Poly系统采用基于等离子体的蚀刻工艺,可产生高精度的垂直壁特征、笔直的几何形状和锐利的边缘,且底切最小。它具有广泛、用户友好的工艺范围,可灵活处理不同的阵列尺寸、线条宽度和长宽比。它具有超压、过程自动化和吞吐量控制选项的高度可配置性。蚀刻器还提供先进的集成过程监控,以确保最佳蚀刻质量。这包括基于实时蚀刻过程结果自动调整过程参数的自动排序配方。它还提供先进的温度控制、深度测量和端点检测功能，从而能够精确蚀刻多晶硅薄膜。Versys KIYO Poly设计为高可靠性和低维护的操作。它利用低温气体输送系统，包括减少频繁重置需求的自规划反应堆。该单元还配备了一个集成的次环境干泵，提供安静，低灰尘操作。Versys KIYO Poly机器的设计具有卓越的蚀刻性能,特别适合高精度、高分辨率的多晶硅蚀刻。该工具采用全自动、用户友好的设计,非常适合需要高精度、快速吞吐量和低维护的应用程序。