二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9257976 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly是一种工业蚀刻器/asher，用于在半导体芯片制造过程中蚀刻和/或澹化基板。蚀刻和灰化是串联完成的,只需要一台机器,而不需要两台独立的蚀刻器和灰烬。该工具利用多Cool™冷却板精确映射晶圆温度，有助于确保蚀刻和灰化晶圆的均匀冷却。每批晶片都可以使用2300 Versys Kiyo Poly精确处理。它最多可容纳300个晶圆，允许大批量生产和高效批量一致性。该工具与多Controller™可编程逻辑控制器和可编程自动化控制器集成在一起，能够精确控制蚀刻和灰化参数。用户可以针对不同的材料或晶圆厚度设置和存储不同的工艺配方。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly配备了P3™ Advanced Pressure Profiling技术，安装在等离子体蚀刻室中。此技术降低了压力剖面的复杂性,以便在蚀刻时更好地控制过程。它有多种蚀刻和灰化气体如氟气、氧气、Cl2和Ar，并允许对气体进行自动质量流量控制。远程等离子体源选项减少了粒子的产生，消除了CMP过程中潜在的变异源。该机采用自动气体配置，允许用户设置系统、存储多个气体配置以及远程更改气体配置。这有助于减少与手动设置相关的浪费,用户无需额外的安装时间即可轻松切换配方。2300 Versys Kiyo Poly还设有顶部开口门，便于装卸盒式纸盒，使其更容易处理晶片。它还与Teflon™过滤器兼容，这有助于减少碳污染和其他污染，确保高质量的产品。