二手 LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly #9292953 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly 蚀刻器/asher是一种先进的设备,在蚀刻和灰化过程中具有可靠性和高性能。它有一个能够同时容纳两个过程的大腔室，非常适合高通量生产。2300 Versys KIYO Poly etcher/asher的多功能设计为用户提供了多种工具,其强大的流程功能使用户能够自定义其操作。该腔室建造得非常坚固，并以其独特的材料选择和设计，可以承受极端的温度、压力和侵略性的化学物质而不会出现问题。腔室还包括通过使用分子筛进行特殊的亚环境冷却。双工序执行快速、高效的蚀刻和灰化，两个工序在同一腔室内进行。该蚀刻器采用LAM RESEARCH翻转蚀刻技术（FET），具有集成的工艺和设备控制智能。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly蚀刻机/Asher中的灰化技术，被称为CAT-M Carbides Asher，旨在管理粒子和选择性，确定最佳的底层或顶层灰化策略。结果表明：聚H-CMP的残留物还原率高达97%和99.9%。该平台还提供维护环境,旨在为客户提供快速的服务响应和快速故障诊断。因此,减少了停机时间,提高了工艺产量。2300 Versys KIYO Poly 蚀刻器/asher还设计为节能,并配有电源监控系统,有助于确保一致使用的最佳条件。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly 蚀刻器/asher是高通量蚀刻和灰化过程的终极工具。它的可靠性、性能和高级特性使其成为半导体行业中许多应用的理想选择。它的多功能性加上易用性提供了一个一定能满足任何用户需求的过程。