二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9372749 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款高性能蚀刻设备，设计用于在半导体器件生产中提供精确的晶圆蚀刻。该系统具有优越的晶片吞吐量和优化的蚀刻时间和精度，以及高质量的蚀刻特性。该装置得益于完全集成的工艺控制、高度可靠的再循环钝化和选择性晶圆蚀刻等智能特性。2300 Versys KIYO Poly拥有一个创新的晶圆支架传输单元,确保晶圆在蚀刻过程中紧密固定到位。该装置还有一台自动晶片处理机，可高效装卸晶片，进一步提高加工时间和精度。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly拥有最新的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术。PECVD技术具有静电卡盘,可确保沉积材料的精确蚀刻,有助于实现更高的长宽比和更小的特性。蚀刻结果通过独特的蚀刻后等离子体清洗过程得到增强，消除了蚀刻过程中留下的任何残留颗粒。2300 Versys KIYO Poly还具有实时腔室温度控制功能，保持最佳处理参数，并确保结果的一致性。此外,该工具还具有先进的数字控制,具有直观的资产接口,易于使用和适应。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly还有一个强大的设计，以适应苛刻的环境和流程。不锈钢和钛合金结构确保模型具有耐腐蚀性，不受颗粒污染。此外，KIYO Poly还包含了诸如泄漏检测监测和定期化学检查等环保功能。2300 Versys KIYO凭借其优越的构造和技术，是高级蚀刻和灰化应用的绝佳选择。