二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9137280 待售
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ID: 9137280
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etcher, 12"
Mainframe: V2
(2) Kiyo
(2) Strip 45
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款高科技蚀刻器/asher,非常适合从高级包装和MEMS设备制造到SOI基板制备等应用。这种功能强大的工具能够在湿法、干法和等离子体工艺中进行蚀刻，使其成为各种设备的通用选项。它具有用于精确控制蚀刻轮廓的三维电磁体，是关键蚀刻工艺的理想选择。此外，该工具还配备了无冷冻剂的垂直冷却器设备，可实现高速、低温的蚀刻工艺。该系统还设计了一个高效的过滤器单元，允许一个清洁、无污染物的蚀刻环境。该工具能够蚀刻多种材料和底物，包括砷化氙、硅、贵金属等等。它能够以非凡的精度蚀刻材料,在一定深度范围内,从20到1,000个铣削弧度不等。此外，它还配备了两级气体输送机，允许各种蚀刻化学和反应性气体。该工具还具有高精度步进电机和数字模式发生器，易于编程，并允许产生用户所需的任何蚀刻模式。此外，该工具能够蚀刻1D线、2D圆、3D多角和4D复杂形状。此外,该工具还包括激光对准资产,可实现更高的精度。此外,2300 Versys Kiyo还设计了一个负载锁定室,可提供一套高级样品处理功能。此型号采用高效批量蚀刻配置,可实现更快、更高效的工艺。最后,该工具还具有全面的监控设备,符合多种标准电镀协议,非常适合各种蚀刻应用。
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