二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9226894 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它是一种全封闭、高压、高温、高真空蚀刻器，设计用于处理300 mm尺寸范围内的大面积基板。该设备具有大容量和获得专利的大气负载锁设计，可方便高效地转移基板。该系统可处理Si、SiGe、SOI、Al、Ti、Cu等多种材料。该单元是一个高效、双波长的离子机蚀刻平台，能够同时执行标准和高长宽比工艺。配备大功率蚀刻源、高压注气、排气处理工具、就地诊断资产。蚀刻室和工艺模块由坚固的不锈钢构成，对整个蚀刻过程具有精确的温度控制。它能够在深层各向异性蚀刻过程中实现高温和高等离子体条件，且室内污染最小。该型号还配备了Kiyo™ Sidestream Processing获得专利的LAM RESEARCH，可提高蚀刻均匀性和提高工艺稳定性。这一特性使得可以独立控制蚀刻室两侧的等离子体，使蚀刻轮廓优化到满足工艺要求。设备还有一个过程监控系统，允许对晶圆几何形状、温度和等离子体均匀性等关键参数进行实时监控。该单元与基于Windows的图形用户界面（GUI）和屏幕上的流程控制完全集成和自动化。该界面允许轻松设置复杂的流程,并提供包括流程目录和实时流程数据的综合报告机。该工具还具有室内光学测量功能，以收集有关薄膜和氧化物厚度以及轮廓形状的数据。2300 Versys Kiyo是一款可靠、用途广泛的蚀刻器/asher，可满足半导体器件制造的苛刻需求。它设计用于高通量、高均匀性蚀刻以及化学机械抛光（CMP）。凭借其精确的温度控制和先进的过程监控能力，资产能够在保持高产的同时优化性能。